Оборудование для нанесения покрытий на дисплей
Вертикальное оборудование для нанесения покрытия на дисплей в основном используется для изготовления стекла с покрытием в отрасли по производству дисплея, с помощью метода магнетронного распыления через отложения прозрачной проводящей пленки (TCO, ITO, AZO и так далее).
Технические данные:
Размер субстрата: под заказ
Толщина субстрата: под заказ
Время цикла: под заказ
Предельное напряжение: < 2E-6mbar
Температура субстрата: Макс. 350℃
Предварительная обработка субстрата: LIS (линейный ионный источник )
Технология нанесения покрытий: плоский катод постоянного тока, вращающийся катод промежуточной частоты.
Техническая преимущества:
1. Низкий уровень загрязнения твердыми частицами
2. Небольшая занимаемая площадь
3. Регулируемый поток газа
4. Многоступенчатая система нагрева для более ровной температуры
5. Легкое изменение цели и простое обслуживание
6. Модульная конструкция
