Молибденовые мишени для распыления
Использование высококачественных молибденовых мишеней для распыления позволяет пользователям получать качественные изображения высокой четкости.
Чистота молибдена для наших распыляемых мишеней составляет ≥99,95%. Получаемая в процессе распыления пленка имеет высокую электропроводность, тем самым сокращая образование частиц при нанесении покрытия осаждением паров. Данная серия мишеней имеет высокую плотность (плоская мишень: мин. 10,15 г/см3, вращающаяся мишень: мин. 9,8 г/см3). Благодаря высокой скорости распыления они способны значительно ускорить производство. Чем выше плотность молибдена, тем выше электропроводность образуемых покрытий.
Распыляемые мишени из молибдена обычно используются в производстве электронных деталей и приборов, таких как TFT-LCD дисплеи (жидкокристаллические дисплеи на тонкопленочных транзисторах), плазменные панели, дисплеи на неорганических светодиодах, FED-дисплеи (дисплеи с автоэлектронной эмиссией), тонкопленочные солнечные элементы, датчики, полупроводниковые приборы, комплементарные полевые резисторы (КМОП) и т.д.
Наши плоские молибденовые мишени выпускаются нескольких видов. Мы можем производить плоские мишени для всех распространенных систем в соответствии с конкретными требованиями заказчика.
Применение:
производство ЖК-дисплеев с активной матрицей (TFT), ЖК дисплеев на основе типичного скрученного нематика (TN) и нематика с суперскручиванием (STN), а также фотогальванических элементов.
| Плоская мишень | ||
| Чистота материала | мин . 99.95% | |
| Плотность | мин. 10.15 г / см 3 | |
| Гранулометрический состав | макс . 100 мкм | |
| Спецификации ( длина*ширина*толщина ) | 2650*210*20 мм | |
| 2300*200*16 мм | ||
| 2300*200*4 мм | ||
| 1950*200*16 мм | ||
Содержание элементов: мин. 99.95% молибдена
| Элемент | W | Si | O | Ni | Na | N | K | Fe | Cu | Cr | C |
| 1% ч/ млн | 300 | 25 | 50 | 50 | 20 | 20 | 30 | 50 | 15 | 20 | 50 |
С помощью наших молибденовых вращающихся мишеней для распыления коэффициент использования целевого материала может быть увеличен до 75%, что соответственно приводит к продлению срока службы. Мы можем предложить вращающиеся мишени длиной до 2 метров, которые используются при производстве стальных и титановых втулок.
Применение:
производство ЖК-дисплеев с активной матрицей (TFT), ЖК дисплеев на основе типичного скрученного нематика (TN) и нематика с суперскручиванием (STN), полупроводников и фотогальванических элементов.
| Вращающаяся мишень | |
| Чистота материала | мин . 99.95% |
| Плотность | мин . 9.8 г / см 3 |
| Гранулометрический состав | макс. 100 мкм |
| Диаметр | 100-300 мм |
| Длина | <2000 мм |
Содержание элементов: мин. 99.95% молибдена
| Элемент | W | Si | O | Ni | Na | N | K | Fe | Cu | Cr | C |
| 1% ч/ млн | 300 | 25 | 50 | 50 | 20 | 20 | 30 | 50 | 15 | 20 | 50 |
