Устройство для распыления
Устройство для распыления разработанное и изготовленное компанией Northglass включает в себя вращающийся/плоский катод, головку и магнитную антенну. Также наша компания осуществляет проектирование и производство всех новых существующих катодов по заявкам клиентов, с вышеуказанными частями.
Northglass поставляет единичный вращающийся катод, двойной вращающийся катод, единичный плоский катод и двойной плоский катод. Каждый компонент катода состоит из самого катода и крышка.Он выполняет разделения воздуха, подключение воды и электричества, вакуумное измерение, контроль и т.д.
Компания Northglass предоставляет на выбор три серии головки, EB-CAC, EB-CB и EB-CS, для удовлетворения требований в различных отраслях.
Все головки обслуживаются обученным персоналом.Подготовка может выполняться в цеха клиента, что значительно экономит время и уменьшает затраты.
1. Серия EB-CAC
Серия EB-CAC применяет двойную головку, каждая пара состоит из приводной головки и гидроэлектрической головки. Приводная головка осуществляет вращение , другая головка для соединения воды и электричества. Эта серия подходит почти для всех катодов симметричного оборудования для нанесения покрытий.
Серия | Тип | Ток-частота | Скорость вращения | Диаметр цельной трубы | Длина цельной трубы | Безопасное напряжение |
EB-CAC | Двойная головка | ≤320A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤3900mm | < 1500V |
2. Серия EB-CB
Каждая пара серии EB-CB состоит из функциональной головки и опорной головки. Функциональная головка используется для вращения и подключения воды и электричества, и опорная головка служит как опора.
Эта серия применяется в несимметричном оборудовании для нанесения покрытий.
Серия | Тип | Ток-частота | Скорость вращения | Диаметр цельной трубы | Длина цельной трубы | Безопасное напряжение |
EB-CB | Единичная головка | ≤320A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤3900mm | < 1500V |
3. Серия EB-CS
Каждая пара серии EB-CB состоит из функциональной головки и опорной головки. Функциональная головка используется для вращения и подключения воды и электричества, и опорная головка служит как опора.
Эта серия часто используется в несимметричном оборудовании для нанесения покрытий.
Эта серия применяет способ нисходящей установки, что обеспечивает легкое регулирование дистанции между целью и субстратом.
Серия | Тип | Ток-частота | Скорость вращения | Диаметр цельной трубы | Длина цельной трубы | Безопасное напряжение |
EB-CS | Единичная головка | ≤225A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤2500mm | < 1500V |
- Экструдированный алюминий в качестве опорной конструкции разделяет магнит и его ярмо от охлаждающей воды во избежании изменения магнитного поля из-за долгого замачивания в воде. Он значительно улучшает жесткость магнитной антенны, и избегает изменения магнитного поля, вызванного трением между цельной трубкой и деформированной магнитной сталью.
- Равномерность магнитного поля регулируется очень точно, с помощью использования новой винтовой конструкции для регулирования.
- Охлаждающая вода выбрасывается от зоны высокой температуры, что обеспечивает лучший эффект охлаждения.
- Легкое обслуживание и простота в установке.
- It's easy and convenient for installation and maintenance.
Тип | MB3300 | MB2540 | MB1400 |
Длина магнитной антенны ( mm ) | 3850 | 3192 | 1920 |
Напряженность магнитного поля | >550GS | ||
Равномерность | ≤±1.0% | ||
Диапазон регулирования | ≤±25% |