Система лазерного скрайбирования
Модель: Серия TH-3221, серия TH-5210
Описание продукта
1. Оборудованная системой ЧПУ типа CNC эта система лазерного скрайбирования кремниевых пластин является выдающимся экспертом в несквозной резке пластин. Она обладает высокой скоростью, точностью, стабильностью и гибкостью.
2. Эта система использует прибор с зарядовой связью для быстрого позиционирования, соосный и приосевой контроль в режиме реального времени.
3. Бесконтактная обработка не оказывает механического воздействия, что повышает качество кристаллов.
4. Оборудование имеет долговечную и прочную базу из мрамора с малой тепловой деформацией.
5. Эта система скрайбирования пластин оборудована высокоточным двуосным линейным рабочим столом и поворотной платформой с цифровым дисплеем.
Применение
Система лазерного скрайбирования пластин широко используется для скрайбирования печатных плат, кремниевых пластин для универсального процессора и диодных кремниевых пластин для универсального процессора, а также для прорезания канавок в материалах с низкой диэлектрической постоянной (low-k материалах).
| Тип лазера | Инфракрасный | Ультрафиолетовый |
| Спецификация/Модель | серия TH-3221 | серия TH-5210 |
| Длина волны лазера | 1034нм | 355нм |
| Мощность лазера | 20Вт | 5Вт |
| Макс. размер пластины | 4 дюйма | 6 дюймов |
| Скорость скрайбирования | 150мм/с | 30мм/с |
| Ширина скрайбирования | 40-55мкм | 20-30мкм |
| Глубина скрайбирования | 50-120мкм | 50-100мкм |
| Точность позиционирования | ±2мкм | ±2мкм |
| Стабильность позиционирования | 1мкм | 1мкм |
| Эксплуатационный ресурс лазера | 100, 000 часов | 12, 000 часов |
Образцы
- Лазерное скрайбирование кремниевой пластины
